炭化水素プラズマ中に発生するナノクラスタの検出

マイクロプラズマジェットを用いたラジカル源の開発

プロセスプラズマ中に発生するナノメータサイズのクラスタのその場測定法を開発する．

高周波メタンプラズマ中の炭素ナノクラスタと炭素薄膜の関連を調べる．

低周波高電圧放電で発生したマイクロプラズマジェットによりラジカルを生成する

大気圧マイクロプラズマジェットによる水素ラジカル源の開発，福澤剛，村上和久，平川晧一，小城左臣，北九州工業高等専門学校研究報告, Vol.43,41-44,(2010).

気相合成ダイヤモンドの選択成長とメタン高周波プラズマ中ナノクラスタに関する研究，福澤剛，小城左臣，北九州工業高等専門学校研究報告, Vol.40,39-43,(2007).

メタンプラズマ中微粒子の検出(Ⅲ)，福澤剛，小城左臣，北九州工業高等専門学校研究報告, Vol.37,25-27,(2004).

気相合成ダイヤモンドの選択成長に関する実験条件の同定IV，小城左臣，福澤剛，北九州工業高等専門学校研究報告, Vol.34, 19-23，(2001).

Growth process of particles up to nanometer in high frequency SiH4 and GeH4 plasmas, Y. Watanabe, M. Shiratani, T. Fukuzawa and K. Koga, J. Technical Phys., Vol. 41, No.1, 505-519, (2000)

公開講座(学んで作るロボット教室)